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光罩修補設備
SIR聚焦離子束光罩修補機主要是為半導體或LCD曝光用光罩,其中之缺陷圖形進行修補所開發出來的精密設備。此修補機可以針對各類型光罩(Binary Mask and Phase Shift Mask)上的細微與複雜圖形缺陷進行高精確度的修補。

SIR5 光罩修補機
SIR5 主要可以針對半導體光罩上的多種形式缺陷進行修補的高階光罩修補設備。它可以對傳統光罩與相位移光罩上許多微小形式的缺陷,作高準確度的修補並得到良好的修補效果。

SIR7 光罩修補機
SIR7 光罩修補機是針對65nm世代製程以下之高階半導體光罩缺陷修補所設計的尖端光罩修補設備。SIR7可針對在高階傳統光罩與相位移光罩上許多微小形式的缺陷,作高準確度的修補並得到良好的修補效果。
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