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設備振動偵測裝置
InnerSense 致力開發出一系列Smart Wafer無線偵測系統,針對各式半導體設備之機械動作與製程條件,進行細微變化偵測與診斷變因的穩定性分析。
 
經由InnerSense特有的微振動及平衡量測感知系統,偵測診斷工廠設備的穩定狀況。Smart Wafer可先一步偵測診斷出設備不正常擾動的動作,進而協助排除潛在的障礙以提升工廠的生產效率。 
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