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FOUP專用氮氣填充系統 FOUP & Mask Pod Purge System |
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FOUP專用氮氣填充系統: |
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| 1. |
Stand Alone (MK-2)
獨立裝置系統。可適用於OGV, PGV 與OHV。並可與Fab Communications整合 |
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| 2. |
Zero Foot Print Storage |
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與現有晶舟傳輸系統符合
與Stand Alone系統相同功能 |
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光罩儲存盒Pod/SMIF 氮氣/ xCDA填充系統 |
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| 1. |
Stocker (Rack) Integration System
主要設計訴求:
● 可填充氮氣或XCDA氣體
● 搭配環境安全警示系統( for N2)
● 避免儲存空間損失
● 填充過程監控: 溼度，壓力差，含氧量
● 有效控制污染物
● 使用低流量避免造成pellicle傷害
● 搭配RFID
● 與廠務自動控制系統連結 |
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Stand Alone Type: 單機系統 |
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MK2: |
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與廠內Automation晶舟傳輸系統結合: |
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Smart Shelf (FOUP& Mask Pod stocker改裝，Mask Pod氣體N2 or xCDA填充架) |
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全自動充氣監控系統，能夠有效確實掌握每一個Foup 跟Pod內部環境氣體變化(Monitoring)。有效設定充氣程式，百分之百達到充氣效果，避免氣體資源浪費、造成廠內公安意外的發生。 |
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