品名

螢光X射線鍍層厚度測量儀

型號

FT9500X series

概要

  FT9500X系列使用最新開發的X-ray聚焦系統，使高強度的X光束聚焦在直徑30um的範圍內。

FT9500X系列在導線架，連接器和軟性電路板的量測有更好的精度及準度。傳統的測厚儀由於照射強度較低，致使在量測上無法有快速且精確的測量。

特點

1.      薄膜和多層薄膜的厚度測量

FT9500X系列配備新的聚焦照射範圍能縮小到直徑30微米，但仍有相當於FT9500型(量測範圍直徑80微米)的強度。

FT9500X系列能同時測量多層，並且各層都能維持在高測量精度，例如: 量測Au/Pd/Ni/Cu的厚度。

2.      污染物分析

高強度的光束與具有高檢出率的偵測器相結合，所以能做污染物的定性分析。 CCD放大影像後確認污染物的位置進行量測，透過能譜的差異進行比對，可針對元素(原子序Al至U)之間的元素做出定性分析。

3.      搭載能四段切換的可變倍率光學系統，可對微小區域進行觀察。光學系統上的焦點切換功能，能夠對有高度的樣品進行底部厚度測定。

4.      加強照明功能，容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。

5.      使用伺服馬達做精確的平台驅動。

6.      運用雷射聚焦功能做樣品表面高度的位置調整。