PE25 Plasma Etch Model
經濟實惠的價格，美國Plasma Etch公司的PE25-JW是一種高品質電漿清洗機可以產生均勻的、高再現性的結果。友好的使用者界面具有自動排序能力，和所有事件定時設計（抽氣，電漿化，氣體穩定和排氣），可以很容易自動程序編輯。操作人員可以利用PLC鍵盤輸入，完成的製程配方可以儲存在機器中。
優點
- 直接接觸射頻電容平行板電極用於產生均勻的電漿。
- 搭配PLC控制器 自動化的電漿清洗機。
系統特點
- 5" × 8"深鋁製焊接真空室
- 單一3.5" × 7" 水平電極
- 150瓦@50KHz射頻產生器(可添購400瓦電源供應器)
- 精密針形閥流量控制0-25毫升/分鐘
- 熱電偶真空計 0-1Torr
- 自動化PLC微處理器
- 外形尺寸：14"寬x14.5"深x18"高
- 運輸重量約52磅
應用
- 電漿殺菌
- 表面處理