優點

直接接觸射頻電容平行板電極用於產生均勻的電漿。
搭配PLC控制器 自動化的電漿清洗機。
系統特點

焊接鋁合金真空室,寬6"長7"高4"
單一4.5" × 6"水平電極
150瓦@50KHz射頻產生器 (可選購400瓦電源供應器)
精密針形閥流量控制0-25毫升/分鐘
Pirani真空計0-1Torr
5 CFM氧氣服務真空泵
可儲存單一製程序列
應用

電漿殺菌
表面處理