半導體製造及封裝 > 設備 > 濃度監控裝置
濃度監控裝置
  PSM晶圓清潔製程濃度監測控制裝置
  PSM是晶圓清潔製程中製程工程師與設備工程師在製程濃度監控上的強大工具:
  • 可直接提昇改善現有製程設備的製程性能
  • 可直接提昇改善現有製程設備之操作安全
  • 可有效降低化學品用量與廢液量
應用範圍
  • 各類濕製程監測與先期控制
  • 化學機械研磨製程監測與先期控制
  • 爐管製程監測與先期控制
  • 其他類似製程監測與先期控制功能開發

緯利依據客戶的製程需求,提供客戶從設計、製造、安裝及售後服務的整合性服務。PSM可為客戶達到提升製程穩定改善、操作安全監控與節約生產支出的方案

Copyright 2013© by LeadinWay Co.. Ltd. All Rights Reserved .
主要辦公處:台灣-新竹,台南市 中國大陸-上海,東莞
地址: 30268 新竹縣竹北市縣政五街46號|電話:+886-3-6560883|傳真: +886-3-6564486