FS-1 多波長橢圓偏光儀

Film Sense FS-1 Ellipsometer


 
特點

 好處

多波長可見光LED: 藍 (465nm), 綠 (525nm), 黃 (580nm), 紅 (635nm)

光源壽命 >50,000 hours), 減少耗材使用量及停機更換

檢測器不須機械移動

減低量測所需時間(multi-wavelength data in 10 ms) 提供更高的量測再現性

優異的厚度精度,對一般樣品1秒的量測時間下可以提供比0.001nm好的精度

市面上ㄨ目前唯一能做到該精度的橢偏儀 

內部電腦控制儀器及數據分析,可使用電腦或平板透過外部Web瀏覽器界面分析數據

無需複雜的介面安裝和軟體維護

平價實惠

單波長橢偏儀價格有多波長橢偏儀的量測分析能力


 

規格

  • 65°的入射角易安裝框架

  • 樣品平台可以傾斜±2°

  • 可容納200毫米的直徑及厚23毫米樣品(或有OEM版本)

  • 有不同氧化矽厚度的對照品

  • 所需空間小緊湊:模組尺寸為180×380mm,並且不需要額外的電子控制裝置

 

多波長優點

  • 使膜厚量測是唯一而確定數據(無厚度週期性的問題)

  • 可以判別樣本的其他參數,如:表面粗糙度,多層薄膜厚度等等

  • 提供膜厚數據分析一致性檢查:一個好的分析模型應該在4種不同波長下都符合

 

相關技術

  • 多波長橢圓偏光儀技術

  • LED的波長帶寬光學模型補償技術

  • Division-of-Amplitudes-Polarimeter (DOAP)技術及光軸偏差補償

  • Model Valid

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