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好處 |
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多波長可見光LED: 藍 (465nm), 綠 (525nm), 黃 (580nm), 紅 (635nm) |
光源壽命 >50,000 hours), 減少耗材使用量及停機更換 |
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檢測器不須機械移動 |
減低量測所需時間(multi-wavelength data in 10 ms) 提供更高的量測再現性 |
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優異的厚度精度,對一般樣品1秒的量測時間下可以提供比0.001nm好的精度 |
市面上ㄨ目前唯一能做到該精度的橢偏儀 |
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內部電腦控制儀器及數據分析，可使用電腦或平板透過外部Web瀏覽器界面分析數據 |
無需複雜的介面安裝和軟體維護 |
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平價實惠 |
單波長橢偏儀價格有多波長橢偏儀的量測分析能力 |
規格
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65°的入射角易安裝框架
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樣品平台可以傾斜±2°
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可容納200毫米的直徑及厚23毫米樣品（或有OEM版本）
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有不同氧化矽厚度的對照品
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所需空間小緊湊：模組尺寸為180×380mm，並且不需要額外的電子控制裝置
多波長優點
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使膜厚量測是唯一而確定數據(無厚度週期性的問題）
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可以判別樣本的其他參數，如：表面粗糙度，多層薄膜厚度等等
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提供膜厚數據分析一致性檢查：一個好的分析模型應該在4種不同波長下都符合
相關技術
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多波長橢圓偏光儀技術
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LED的波長帶寬光學模型補償技術
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Division-of-Amplitudes-Polarimeter (DOAP)技術及光軸偏差補償
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Model Valid